气相输运法大尺寸ZnO单晶生长的传输过程控制

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	气相输运法大尺寸ZnO单晶生长的传输过程控制
	魏学成
刊名	半导体学报
	2007
卷号	28 期号:6 页码:869-872
中文摘要	研究了化学气相传输法（CVT）生长ZnO单晶的传输过程、动力学和生长机理，分析了CVT法的传输机理、效率以及温场对传输速率和晶体生长的影响，利用气相-固相单晶成核和生长动力学理论研究了制约单晶生长速度和晶体质量的因素．我们得到的不同条件下ZnO单晶CVT生长的实验结果和现象与理论分析一致，获得了ZnO单晶生长的理想条件和高质量的大尺寸ZnO单晶材料。
英文摘要	研究了化学气相传输法（CVT）生长ZnO单晶的传输过程、动力学和生长机理，分析了CVT法的传输机理、效率以及温场对传输速率和晶体生长的影响，利用气相-固相单晶成核和生长动力学理论研究了制约单晶生长速度和晶体质量的因素．我们得到的不同条件下ZnO单晶CVT生长的实验结果和现象与理论分析一致，获得了ZnO单晶生长的理想条件和高质量的大尺寸ZnO单晶材料。; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:01:37导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:01:37Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4018.pdf: 436400 bytes, checksum: be900082e834d205835077f4ad516b20 (MD5) Previous issue date: 2007; 中国科学院半导体研究所
学科主题	半导体材料
收录类别	CSCD
语种	中文
公开日期	2010-11-23 ; 2011-04-28
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16251]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	魏学成. 气相输运法大尺寸ZnO单晶生长的传输过程控制[J]. 半导体学报,2007,28(6):869-872.
APA	魏学成.(2007).气相输运法大尺寸ZnO单晶生长的传输过程控制.半导体学报,28(6),869-872.
MLA	魏学成."气相输运法大尺寸ZnO单晶生长的传输过程控制".半导体学报 28.6(2007):869-872.