有机／无机杂化SiO_2／Si光波导薄膜的制备及表征

	有机／无机杂化SiO_2／Si光波导薄膜的制备及表征
	王玥
刊名	半导体光电
	2007
卷号	28 期号:4 页码:525-527
中文摘要	采用有机／无机杂化溶胶-凝胶（sol-gel）法制备了SiO_2光波导薄膜材料。采用甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷（MAPTMS）作为反应先躯体，四丙氧基锆（ZPO）作为调节折射率的材料，正丙醇（n-propyl alcohol）为溶剂，利用旋涂方法在Si基片上成膜，采取低温长时间、高温短时间的热处理方式，制备出无龟裂薄膜。分别采用棱镜耦合仪和原子力显微镜（AFM）研究了不同溶剂量和不同ZPO量情况下，薄膜的折射率、厚度以及表面形貌变化情况。研究结果表明
学科主题	光电子学
收录类别	CSCD
资助信息	国家自然科学基金资助项目（6 5 7 6,6 477 35）
语种	中文
公开日期	2010-11-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16189]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	王玥. 有机／无机杂化SiO_2／Si光波导薄膜的制备及表征[J]. 半导体光电,2007,28(4):525-527.
APA	王玥.(2007).有机／无机杂化SiO_2／Si光波导薄膜的制备及表征.半导体光电,28(4),525-527.
MLA	王玥."有机／无机杂化SiO_2／Si光波导薄膜的制备及表征".半导体光电 28.4(2007):525-527.