GaN基垂直腔面发射激光器的研制 | |
张保平 ; 蔡丽娥 ; 张江勇 ; 李水清 ; 尚景智 ; 王笃祥 ; 林峰 ; 林科闯 ; 余金中 ; 王启明 | |
刊名 | 厦门大学学报. 自然科学版
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2008 | |
卷号 | 47期号:5页码:617-619 |
中文摘要 | 作者在我国大陆首次实现了GaN基垂直腔面发射激光器(VCSEL)的激射.首先采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上进行高质量氮化物增益区的外延生长.然后在表面沉积高反射介质膜分布布拉格反射镜(DBR).将样品键合到其它支撑片上后,采用激光剥离技术将蓝宝石衬底去除.再在去除蓝宝石后露出的氮化物表面沉积第二组介质膜DBR制成VCSEL.在室温光泵条件下,观察到VCSEL的激射.激射波长449.5nm。阈值6.5mJ/cm~2.激射峰的半高宽小于0.1nm,这些指标达到了国际领先水平.本文为进一步研制实用化氮化物VCSEL奠定了重要的基础. |
学科主题 | 光电子学 |
收录类别 | CSCD |
资助信息 | 科技部国家高科技研究发展计划(863计划)资助 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2010-11-23 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/15965] ![]() |
专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张保平,蔡丽娥,张江勇,等. GaN基垂直腔面发射激光器的研制[J]. 厦门大学学报. 自然科学版,2008,47(5):617-619. |
APA | 张保平.,蔡丽娥.,张江勇.,李水清.,尚景智.,...&王启明.(2008).GaN基垂直腔面发射激光器的研制.厦门大学学报. 自然科学版,47(5),617-619. |
MLA | 张保平,et al."GaN基垂直腔面发射激光器的研制".厦门大学学报. 自然科学版 47.5(2008):617-619. |
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