100keV金属表面改性离子注入与混合两用机

	100keV金属表面改性离子注入与混合两用机
	陈鉴璞; 邱宏; 舒传玉; 梁笳鸣; 李继纲; 姜福友; 郁庆长; 杜锡九; 竺仁全; 沈本蔚
刊名	核技术
	1994
期号	1 页码:5
关键词	离子注入机金属表面改性离子束混合离子源
其他题名	A 100KEV ION IMPLANTATION AND MIXING MACHINE FOR METAL SURFACE MODIFICATION
通讯作者	陈鉴璞
中文摘要	叙述了１００ｋｅＶ金属表面改性离子注入与混合两用机的总体结构及各主要部件的技术参数．该机经过调试各项主要指标已达到设计要求．工作稳定可靠，已开始金属材料表面改性实验。
公开日期	2016-02-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/216975]
专题	高能物理研究所_加速器中心
推荐引用方式 GB/T 7714	陈鉴璞,邱宏,舒传玉,等. 100keV金属表面改性离子注入与混合两用机[J]. 核技术,1994(1):5.
APA	陈鉴璞.,邱宏.,舒传玉.,梁笳鸣.,李继纲.,...&魏成连.(1994).100keV金属表面改性离子注入与混合两用机.核技术(1),5.
MLA	陈鉴璞,et al."100keV金属表面改性离子注入与混合两用机".核技术 .1(1994):5.