多孔low-k薄膜材料的新型表征技术 | |
曹兴忠 | |
2007 | |
结束日期 | 2009-12-31 |
关键词 | low-k薄膜材料 孔结构 慢正电子束流 正电子湮没 |
内容类型 | 项目 |
源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/198635] ![]() |
专题 | 多学科研究中心_项目/基金 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹兴忠.多孔low-k薄膜材料的新型表征技术.2007. |
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