背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜

	背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜
	朱艳青; 梁静秋; 梁中翥; 黄鑫华; 乐孜纯; 伊福廷; 侯凤杰; 黄万霞; 董文; 王维彪
刊名	物理学报
	2009
期号	3 页码:1526-1530
关键词	组合折射透镜背面曝光沙漏状 SU-8
其他题名	Hourglass-shaped X-ray compound refractive lens made by back-mask exposure technology
中文摘要	在分析沙漏状X射线组合折射透镜(X-ray compound refractive lens,XCRL)的折射聚焦理论的基础上,设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL,该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤,使制作更加简便易行.在10keV单色X射线辐射下,对制作的透镜进行了聚焦性能的实验测试,结果表明,所制作的透镜较好地实现了一维聚焦.
公开日期	2016-02-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222737]
专题	高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式 GB/T 7714	朱艳青,梁静秋,梁中翥,等. 背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜[J]. 物理学报,2009(3):1526-1530.
APA	朱艳青.,梁静秋.,梁中翥.,黄鑫华.,乐孜纯.,...&崔乃迪.(2009).背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜.物理学报(3),1526-1530.
MLA	朱艳青,et al."背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜".物理学报 .3(2009):1526-1530.