掠出射微区X射线荧光分析系统的建立及其在薄膜分析中的应用

	掠出射微区X射线荧光分析系统的建立及其在薄膜分析中的应用
	杨君; 刘志国; 徐清; 韩东艳; 林晓燕; 杜晓光; Kouichi Tsuji; 丁训良
刊名	光学精密工程
	2009
期号	1 页码:26-32
关键词	毛细管X射线光学器件掠出射X射线荧光全反射薄膜分析
其他题名	Grazing exit micro X-ray spectrometer and its application to film analysis
中文摘要	建立了应用导管X光透镜的掠出射微区X射线荧光分析系统,并将该系统应用于纳米薄膜的分析。为了提高入射X射线的强度并提高系统的空间分辨率,选用焦斑为41.7μm的会聚透镜对原级X射线进行会聚,并在探测器前加上50μm的狭缝以提高掠出射角扫描的角度分辨率。为了提高工作效率,编写了该系统的自动控制软件,实现了样品的自动扫描。利用该系统对采用金属蒸汽真空电弧(MEVVA)源离子束和薄膜沉积技术制备的纳米薄膜进行了掠入射X射线荧光和二维扫描分析。实验结果表明:该系统能有效地分析纳米厚度的薄膜,通过对薄膜进行掠出射角扫描分析和表面的二维扫描分析,得到了薄膜的厚度,密度及均匀性等信息。微区分析的空间分辨率可达...
公开日期	2016-02-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222684]
专题	高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式 GB/T 7714	杨君,刘志国,徐清,等. 掠出射微区X射线荧光分析系统的建立及其在薄膜分析中的应用[J]. 光学精密工程,2009(1):26-32.
APA	杨君.,刘志国.,徐清.,韩东艳.,林晓燕.,...&丁训良.(2009).掠出射微区X射线荧光分析系统的建立及其在薄膜分析中的应用.光学精密工程(1),26-32.
MLA	杨君,et al."掠出射微区X射线荧光分析系统的建立及其在薄膜分析中的应用".光学精密工程 .1(2009):26-32.