周期性多层膜合金化制取的TiNi形状记忆薄膜的室温微结构特征 | |
魏向军; 徐清![]() ![]() ![]() ![]() | |
刊名 | 物理学报
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2006 | |
期号 | 3页码:1508-1511 |
关键词 | 相深度分布 形状记忆 TiNi 多层膜 |
其他题名 | Microstructure of TiNi shape memory alloy films made of sputter-deposited NiPTi multilayers |
通讯作者 | 魏向军 |
中文摘要 | 用掠入射X射线衍射及X射线反射对磁控溅射制取的等原子比Ni/Ti周期性多层膜晶化热处理后的TiNi形状记忆薄膜室温微结构进行了研究.TiNi形状记忆薄膜在深度方向的相分布和元素分布是不均匀的,都是一种多层结构.室温下其微结构特征为最外层是Ti氧化膜,再下层是Ti3Ni4,B19’马氏体相和少量的B2奥氏体相的三相混合物,靠近基体为主要相成分马氏体,最后是Ni和Si界面反应层.X射线反射率的拟和结果显示薄膜微结构的分析是合理的.薄膜中相深度分布的不均匀性主要是动力学因素决定的. |
公开日期 | 2016-02-25 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222454] ![]() |
专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 魏向军,徐清,王天民,等. 周期性多层膜合金化制取的TiNi形状记忆薄膜的室温微结构特征[J]. 物理学报,2006(3):1508-1511. |
APA | 魏向军,徐清,王天民,贾全杰,王焕华,&冯松林.(2006).周期性多层膜合金化制取的TiNi形状记忆薄膜的室温微结构特征.物理学报(3),1508-1511. |
MLA | 魏向军,et al."周期性多层膜合金化制取的TiNi形状记忆薄膜的室温微结构特征".物理学报 .3(2006):1508-1511. |
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