亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究

	亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究
	袁利祥; 范正修; 殷功杰; 邵建达; 易葵; 崔明启; 刘丽冰; 缪建伟; 陈光辉; 沈孝良
刊名	物理学报
	1995
期号	2 页码:184-188
关键词	衍射效率光栅周期光栅衍射射线源同步辐射装置光栅扫描光学常数衍射光滤光片光学薄膜
其他题名	DIFFRACTIVE EFFICIENCY STUDY OF SOFT X-RAY MULTILAYER GRATING WITH SUB-MICRON GRATING PERIOD
中文摘要	简要叙述软x射线多层膜位相光栅的理论设计、实验制备,详细给出了在北京同步辐射装置3B1束线上对多层膜位相光栅衍射效率的测试,以及对测试结果的分析,并与理论值进行了比较.
公开日期	2016-02-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221426]
专题	高能物理研究所_多学科研究中心高能物理研究所_加速器中心中国科学院高能物理研究所_大装置管理中心
推荐引用方式 GB/T 7714	袁利祥,范正修,殷功杰,等. 亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究[J]. 物理学报,1995(2):184-188.
APA	袁利祥.,范正修.,殷功杰.,邵建达.,易葵.,...&沈孝良.(1995).亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究.物理学报(2),184-188.
MLA	袁利祥,et al."亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究".物理学报 .2(1995):184-188.