亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究 | |
袁利祥; 范正修; 殷功杰; 邵建达; 易葵; 崔明启![]() ![]() ![]() | |
刊名 | 物理学报
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1995 | |
期号 | 2页码:184-188 |
关键词 | 衍射效率 光栅周期 光栅衍射 射线源 同步辐射装置 光栅扫描 光学常数 衍射光 滤光片 光学薄膜 |
其他题名 | DIFFRACTIVE EFFICIENCY STUDY OF SOFT X-RAY MULTILAYER GRATING WITH SUB-MICRON GRATING PERIOD |
中文摘要 | 简要叙述软x射线多层膜位相光栅的理论设计、实验制备,详细给出了在北京同步辐射装置3B1束线上对多层膜位相光栅衍射效率的测试,以及对测试结果的分析,并与理论值进行了比较. |
公开日期 | 2016-02-25 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221426] ![]() |
专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 高能物理研究所_加速器中心 中国科学院高能物理研究所_大装置管理中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁利祥,范正修,殷功杰,等. 亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究[J]. 物理学报,1995(2):184-188. |
APA | 袁利祥.,范正修.,殷功杰.,邵建达.,易葵.,...&沈孝良.(1995).亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究.物理学报(2),184-188. |
MLA | 袁利祥,et al."亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究".物理学报 .2(1995):184-188. |
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