题名博士论文-基于f-θ扫描原理的高精度面形检测装置的研究
作者王秋实
学位类别博士
答辩日期2015-07-01
授予单位中国科学院大学
授予地点北京
导师盛伟繁 ; 李明
关键词长程面形仪 应用光学 光学测量 面形检测 光学系统设计 误差分析 探测
学位专业核技术及应用
中文摘要本论文完成了LTP 和NOM 相结合的高精度面形检测装置的创新设计,这一设计具有一定的创新性和实用性。同时,本论文创新性地提出了一种用于五角棱镜工作状态的校准方法;研制了一种基于正弦机构的小角度发生器样机;提出了一种将多散斑扩散光谱学应用到CCD 精度校准的方法,利用纳米颗粒漫散射匀场装置搭建了探测器校准装置并完成了校准。
语种中文
公开日期2016-02-25
内容类型学位论文
源URL[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/211315]  
专题多学科研究中心_学位论文和出站报告
高能物理研究所_多学科研究中心
作者单位中国科学院高能物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王秋实. 博士论文-基于f-θ扫描原理的高精度面形检测装置的研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2015.
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