题名硕士论文-中红外FEL近场光学显微成像的研究
作者张立源
学位类别硕士
答辩日期2001
授予单位中国科学院研究生院
授予地点北京
导师李永贵
关键词近场光学显微镜 红外近场光学显微镜 切变力 红外光纤探针 自由电子激光
学位专业核技术及应用
中文摘要本文介绍了我们独立研制的一种光纤探针作为探测器的新型中红外扫描近场光学显微镜(SNI),该显微镜以BFEL装置输出的中红外激光为光源,用于半导体和生物样品的红外近场成像及微区谱特性的研究。SI是扫描近场光学显微镜(SNOM)技术的外延,它所成的光学图像能突破光衍射极限,工作在红外区域中远范围,由于是光源在中红外波段,使得它的光学系统和信号探测系统与一般的SN不同。SNIM的具体装置包括扫描部分(探头、扫描台、计算机控制硬件及软件)、近场逼近反馈控制部分,FEL照明及光信号探测部分。设计过程中,还要对整个系统防震,各种光学和电子学噪声等问题进行处理。我们制作扫描部分,实现了计算机编程控制,并且达到了满意的精度。近场逼近反馈控制部分,我们采用了切变力(shear force)作为探头和样品的距离控制,采用了石英晶振超声共·振的调控方法检测针尖和样品的距离,为进一步开展红外近场光谱的工作莫定了基础。实验上还用腐蚀法研制了用于探测中红外光信号C SN核心部件)一光纤探针,结果表明该方法在针尖尺寸上有较好的重复性,可以得到尖端直径15 Onm左右的针尖,达到了红外近场光学显微镜的基本要求。最后,我们利用这套系统,用北京自由电子激光作为光源,观测在近场条件下的微区光谱特性,在不同FEL光波长下,测量了氮化嫁样品的微区近场反射光谱,并取得了初步的结果。
语种中文
学科主题核技术及应用
公开日期2016-02-25
内容类型学位论文
源URL[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/209739]  
专题多学科研究中心_学位论文和出站报告
作者单位中国科学院高能物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张立源. 硕士论文-中红外FEL近场光学显微成像的研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2001.
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